高気圧ガスアブレーションによるナノ構造物の生成 II

抄録

本研究はCO₂臨界流体の温度を亜臨界温度(20.0)、臨界点温度(31.1)、臨界点温度以上(33.0)として操作したセルの中にターゲットを設置しUVレーザを照射したものである。ターゲットにはAlとNiとSiを使用した。焦点をターゲット表面より0.5mm上に設定した。レーザ照射後にターゲット表面より、ターゲットおよびCO₂よりナノ構造物が走査型電子顕微鏡およびエネルギー分散型X線分析装置で発見したのでここに報告する。