三次元ランダム表面凹凸データに基づく表面性状実量器の製作

鈴木 大悟; 柳 和久; 内舘 道正

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.479.0

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: I68

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005S.0.479.0

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主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状・機能性材料の超精密加工と計測(2)

三次元ランダム表面凹凸データに基づく表面性状実量器の製作

*鈴木大悟, 柳和久, 内舘道正

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キーワード: 表面性状, 実量器, ボールエンドミル加工

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抄録

三次元表面凹凸測定機の性能評価を行うには校正用標準片の他に,複雑な形状,ランダムな表面性状による性能評価も必要と考えられる.しかし,このような性能評価を行うための普遍的な方法は確立しておらず,標準片も存在しない.一方で測定機のソフトウェアを評価するためのソフトゲージというものが提案されている.本報では,既知のソフトゲージを基に,ランダムな表面性状を持つ標準片の試作について報告する.

責任著者(Corresponding author)

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