TiO2砥粒によるSiCウェハのメカノケミカルポリシング

抄録

現在SiC研磨には主として酸化クロム砥粒が用いられているが、我々は環境面も考慮し酸化チタンを砥粒として選定し実験を試みた。結果、ルチル型TiO₂で実用的研磨能率を示すことを見出した。