3次元表面微細形状測定データにおける異常値の処理

抄録

測定された3次元表面微細形状データには,しばしば異常値が含まれ,表面形状の視覚的な認識や粗さパラメータの算出の妨げとなる.本研究では検出エリアの大きさを変化させながら統計処理を行うことにより異常値を精度良く検出する方法,及びそれらのデータ点に妥当な推定値を与える方法を提案する.