シリコンモールドを用いたダイヤモンドアレイ工具の開発と応用(第4報) 加工用ダイヤモンドAFMカンチレバーの開発

高野 登; 岡 大輔; 川堰 宣隆; 森田 昇; 山田 茂; 大山 達雄; 神田 一隆; 高野 茂人; 小幡 勤

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.71.0

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: B14

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005S.0.71.0

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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ・ナノ加工とその応用(1)

シリコンモールドを用いたダイヤモンドアレイ工具の開発と応用(第4報)

加工用ダイヤモンドAFMカンチレバーの開発

*高野登, 岡大輔, 川堰宣隆, 森田昇, 山田茂, 大山達雄, 神田一隆, 高野茂人, 小幡勤

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抄録

本研究では,既知の切れ刃形状を持つ加工用ダイヤモンドAFMカンチレバーの作製方法について検討した.その結果,単結晶シリコンの異方性エッチングにより作製したカンチレバーのレバー部先端に,既知の切れ刃形状をもつダイヤモンドアレイ工具の1刃を取出し装着することにより,加工用ダイヤモンドAFMカンチレバーの作製が可能であった.

責任著者(Corresponding author)

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