小型自走機械群による超精密生産機械システム

第93報　顕微授精システムへの応用

抄録

本研究では、XYθ型小型自走機械を用いた顕微作業システムの開発を行っている。今回、自走機械をマニピュレータ及びステージとして用い、小型で高性能な顕微授精システムの開発を行った。また、画像フィードバックを用いる事で、高さ方向の焦点合わせなどを自動的に行う、操作者補助機能についても開発を行った。本報では、その原理及び実験結果について報告する。