ナノ研削に関する基礎研究

ナノスケール除去作用の過渡特性

抄録

ナノ研削における材料除去機構を明らかにするための基礎資料を得る目的で、原子オーダの分解能を有する原子間力顕微鏡に加工中の力をサブμNの分解能で検出可能な2軸トランスジューサを組み合わせたナノ加工装置を用いて、ナノスケール除去過程における過渡的特性を明らかにした。