パウダージェットデポジション法によるセラミックス厚膜創成に関する研究

抄録

厚さ1~10mmのセラミックス膜の生成は機械加工や薄膜技術のいずれにおいても困難である.そこで本研究では,微粒子を定量的に噴射する装置を用いて基板に衝突させ,常温常圧中でセラミックス膜を生成する方法について検討した.さらに,生成したセラミックス厚膜の微小硬度と剥離強さについて評価をおこなった。