楕円スポットを用いた共焦点式輪郭形状センサの開発

抄録

従来の共焦点式輪郭形状センサでは，反射光スペックルにより，測定値に高周波成分や突発的なピークなどの異常値が含まれる場合がある．そのため，通常フィルタを用いて信号処理を行って異常値を低減しているが，これらの処理を行うと正常値さえも減少させてしまうこともある．
本研究では，信号処理を使用せずに，照射スポットを円形から楕円形に変換する方式によりスペックルによる異常値の低減を試みる．