湿式プロセスにより得られた超平坦4H-SiC(0001)実用表面の原子構造解析

抄録

結晶性を有する原子レベルで平坦な4H-SiC(0001)表面の創成を目的とし、白金を触媒としたHF溶液中での研磨による表面加工および湿式洗浄処理を行った。AFM観察結果からステップ／テラス構造の形成が確認された。また、STM観察による原子像観察結果から、1×1構造と局所的な超構造の形成が確認された。XPS測定結果より、研磨及び、その後の湿式洗浄中の表面原子構造創成プロセスについて考察した。