高精度マシニングセンタ「Zμ3500」の加工特性（第3報)

抄録

送り軸を静圧案内、リニアモータ駆動とし、主軸軸受を静圧＋動圧を組み合わせた油ハイブリッド軸受とした超精密マシニングセンタを開発し、その加工特性について検証してきた。本報では、さらに特徴的な加工事例を追加報告する。