微細管内面の磁気援用研磨法に関する研究

抄録

現在，半導体製造関連，医療関連分野に使用される微細管の内面には，汚染物付着を防止するため，高精度表面が求められている．本研究は細い磁性ワイヤを研磨工具として，微細管外部に永久磁石を設置し，加工力を磁気制御でき，しかも管内に挿入した磁性ワイヤを軸方向に振動できる装置を製作した．この装置を用いて実験した結果，内径0.8 mm，長さ100 mmの細管内面の平滑化に成功した．