一体型θーZ2軸アクチュエータとその精密制御に関する研究

高 偉; 佐藤 真路; 桜井 康匡; 清野 慧

doi:10.11522/pscjspe.2006A.0.861.0

2006年度精密工学会秋季大会

セッションID: L14

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006A.0.861.0

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主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め(2)

一体型θーZ2軸アクチュエータとその精密制御に関する研究

*高偉, 佐藤真路, 桜井康匡, 清野慧

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キーワード: アクチュエータ, センサ, 2軸, 直動, 回転, 圧電素子

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抄録

微小物体の把持や加工，搬送などを実現するマニピュレータへの応用，SPMやSEMのステージへの応用を考えたアクチュエータとして，回転と直動とが一体型で行えるθ‐Z2軸アクチュエータを開発した．また，θ‐Z2軸の回転・直動変位が同時に計測できるサーフェスエンコーダを組み込んで，アクチュエータの精密制御を行った．

責任著者(Corresponding author)

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