3個の圧電素子を用いた自走式マイクロアクチュエータの動作解析(第2報)

旋回·平行移動

抄録

3個の積層型圧電素子を三角形状に接続したインチワームタイプのマイクロアクチュエ–タの動作を理論的に明らかにする。三角形の頂点に電磁石を配置する。電磁力による吸着と圧電素子の伸縮の制御によりアクチュエータの直進·回転動作が可能である。3個の圧電素子の伸縮量を不平衡にすることによる旋回動作,平行移動を検討し、明らかにする。