予圧機構を内蔵した小型高速超音波スピンドルモータ

抄録

通常の超音波モータの予圧機構はバネを用いて行われるため、ステータ振動子の他に幾つかの部品が必要であり、小型の妨げとなっている。本研究の目的は、小型化が容易な超音波モータを実現することである。ステータ振動子とバネをL字状の弾性板で一体構成とすることでシンプルな予圧と支持を実現した。試作の結果、100rps程度で高速回転する小型超音波スピンドルモータが実現できた。