電流パルスによる圧電アクチュエータの駆動(第3報)

電圧源による駆動との比較

抄録

圧電アクチュエータを高分解能駆動するために電流パルスによる駆動法を提案している.これを用いてオープンループ制御およびPID制御により位置決め実験を行い,電流パルス駆動と電圧源駆動を比較した.指令値と測定値の直線性は電流パルス駆動のほうがよかった.フィードバック制御の性能は同等であった.