セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ 第1報　スライダ表面への導入と駆動実験

小谷 浩之; 青木 佑一; 高崎 正也; 大竹 尚登; 水野 毅

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.1017.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: M39

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.1017.0

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主催: 社団法人精密工学会

圧電アクチュエータとその応用デバイス(2)

セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ

第1報　スライダ表面への導入と駆動実験

*小谷浩之, 青木佑一, 高崎正也, 大竹尚登, 水野毅

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キーワード: 超音波モータ, 弾性表面波, ダイヤモンド状炭素膜, 摩擦駆動, 耐摩耗

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抄録

弾性表面波リニアモータでは微小な突起の分布を持ったシリコンスライダの導入により,推力·速度特性を向上させてきた.本研究では,セグメント構造を持ったダイアモンド状炭素膜(S–DLC)を摩擦駆動面に導入することにより,シリコンスライダと同等の性能を確保しつつ,耐摩耗性を向上させることを提案する.本報では,S–DLCを表面に形成したシリコンウエハをスライダとして用いたモータを試作し,駆動に成功した.

責任著者(Corresponding author)

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