進行波超音波応用によるマイクロモータの開発

駆動原理とプロトタイプ

抄録

　コイル型ステータへの進行波超音波の伝搬を利用した超音波モータについて報告する。このモータは、駆動部がステータ·ロータのみという単純な構造のため、小型化に適している。そこで直径0.8mm軸長4mmのモータを試作し、駆動性能を計測したところ、回転数11000rpm、起動トルク0.22μN·mという値が得られた。またロータへの予圧を変え回転速度を計測したところ、予圧による駆動性能の向上が確認された。