ダイヤモンド切削による微小レンズアレイ金型の超精密加工

ピエゾアクチュエータを用いた高速加工の検討

抄録

液晶ディスプレイなどに用いられる光学部品には、表示画面の輝度やコントラストなどの表示性能の向上を目的に、レンズアレイ状の微細パターンの形成が求められている。本研究では、単結晶のダイヤモンドバイトを用いてレンズアレイによる微細パターン金型加工の検討を行った。その結果、ピエゾアクチュエータを用いた微小切込み機構部とNC加工機との連動制御加工により高速かつ高精度で金型加工できることを確認した。