超精密切削加工による光通信用非球面マイクロレンズアレイ金型の開発

抄録

光インターコネクションにおいて、結合効率を高めるために高精度なマイクロレンズが求められている。本開発では、超精密切削加工による小径ボールエンドミル加工を用いることによって、光通信用非球面マイクロレンズアレイ金型を作成することを可能とした。本報では、その加工方法について説明し、作成したマイクロレンズアレイ金型のレンズ間ピッチ精度、およびレンズ形状精度について報告する。