リング状スリット光を用いた三次元変位測定(第5報) 小型·一体化装置の開発

臼杵 深; 影山 大輔; 江並 和宏; 平木 雅彦; 高橋 哲; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.1051.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: N08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.1051.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

知的精密計測(1)

リング状スリット光を用いた三次元変位測定(第5報)

小型·一体化装置の開発

*臼杵深, 影山大輔, 江並和宏, 平木雅彦, 高橋哲, 高増潔

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キーワード: 三次元計測, 変位計測, 光計測

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抄録

我々はリング状光線とCCD画像処理を用いることで,非接触かつ一本のレーザで物体の三次元変位(位置)を柔軟かつ高精度に測定可能なシステムの開発を行っている.前報までに,装置の試作,実験による基本性能の検証,高精度なリング楕円近似式による非線形誤差の軽減等を行った.本報では課題であった熱や振動の問題を解消すべく小型·一体化装置を完成させ,測定·補正を行う.

責任著者(Corresponding author)

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