レーザートラッピングプローブを用いた高精度3次元座標計測に関する研究

抄録

マイクロシステムの発展にともない、マイクロ領域の計測精度向上が望まれている。本研究では、マイクロパーツの形状保証に必要な測定範囲数十mm、測定精度数nmの達成を目的として、3次元座標計測を行った。本研究で用いた装置は、強制振動型レーザートラッピングプローブにより超高感度位置検出を行い、高精度リニアスケールを搭載した3次元XYZステージによりnmオーダの位置決めを可能とする。