シンクロトロン放射光用ミラーのための超精密非球面形状測定装置の開発

抄録

　X線やEUVLに使用される高精度X線ミラー製作のための、超精密形状計測装置の開発を行った。高精度な回転運動を用いて、ミラー面上での光の入反射光を一致させることで法線ベクトルの測定を行う。これまでに、ゴニオメータの回転精度と測定中のミラー保持方法が問題となっていた。そこで今回、ゴニオメータの角度校正とミラー保持による変形シミュレーションを行い、X線集光用楕円ミラーの形状計測を行った結果を報告する。