真円度評価における高精度化の一手法

抄録

真円度測定装置の測定データを用いて厳密に真円度を評価する際に,測定時の回転運度誤差成分を分離する手法としてマルチステップ法がある.しかし,回転運動誤差成分と測定対象の形状成分の結果にはステップ数に依存したお互いのフーリエ成分が分離できずに含まれており,厳密な真円度の評価が出来ないでいた.本研究では,これらを分離する方法と少ないステップ数の測定データを合成することにより高精度化を図る方法を提案する.