三次元座標測定機用高感度プローブの開発(第10報)

受光素子の適切な大きさと配置

抄録

本研究では,光半導体素子を持つ接触式プローブに着目し開発を行ってきた.それは,スタイラスチップの変位を高速かつ高感度に検出できる可能性があるからである.我々は,3次元の精度が評価されCMMに実装可能なプローブの完成を目指し,新たなプローブの試作を行った.ここでは,プローブの検出原理を見直し,検出部における受光素子が適切な配置となるよう設計する.また,試作したプローブの感度を確認して原理を実証する.