平面リニアモータの校正に関する研究 (第2報) ミラーの形状計測と直角度補正

陳 欣; 高増 潔; 石田 敏博

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.1085.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: N39

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.1085.0

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主催: 社団法人精密工学会

知的精密計測(5)

平面リニアモータの校正に関する研究

(第2報) ミラーの形状計測と直角度補正

*陳欣, 高増潔, 石田敏博

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キーワード: 平面リニアモータ, 形状計測, 校正, 直角度

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抄録

本研究で用いるソーヤ型の平面リニアモータは、スライダに内蔵した3軸レーザ干渉計がプラテン平面の両側に設置した反射ミラーまでの距離を測定することで、クローズドループ運転を行う。前報までには,接線法で一軸の反射ミラーの形状の測定について報告した.本報では,もう一軸の反射ミラーの形状と2つのミラーの直角度誤差の測定方法を提案し実験を行う.そして,得られたデータを補正テーブルに入れて,校正した結果を報告する.

責任著者(Corresponding author)

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