PSDを用いたミニチュアロボット位置計測システムの誤差補正

抄録

筆者らは、PSDを用いたミニチュアロボット位置計測システムの研究を行っている。この位置計測システムの計測誤差には、PSD固有の位置検出誤差が含まれている。そこで、最小二乗法を用いた誤差補正方法を提案した。本稿では、誤差補正用の基準ステージを用いてPSDの固有誤差の影響を評価し、位置計測の精度について検討する。