ナノメートル面内方向スケールの開発(第二報) GaAs/InGaP超格子構造からなる面内方向スケールの検討

三隅 伊知子; 権太 聡; 佐藤 理; 菅原 健太郎; 吉崎 和典; 黄 強先; 黒澤 富蔵; 高辻 利之

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.1091.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: N45

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.1091.0

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主催: 社団法人精密工学会

知的精密計測(6)

ナノメートル面内方向スケールの開発(第二報)

GaAs/InGaP超格子構造からなる面内方向スケールの検討

*三隅伊知子, 権太聡, 佐藤理, 菅原健太郎, 吉崎和典, 黄強先, 黒澤富蔵, 高辻利之

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キーワード: 超格子, 面内方向スケール, 認証標準物質, 不確かさ, トレーサビリティ, 測長AFM

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抄録

産総研計量標準総合センター(NMIJ/AIST)は測長AFMで値付けされた面内方向スケールの認証標準物質(CRM)としての頒布を目指している.本報では深さ方向スケールで実績のあるGaAs/InGaP超格子構造を利用した25 nmピッチの面内方向スケールの設計·試作を行った.測定及び不確かさ評価の結果,ピッチ平均値及び拡張不確かさ(k = 2)はそれぞれ25.24 nm及び0.29 nmであった.

責任著者(Corresponding author)

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