ビッカース硬さ圧子形状の広範囲検証に関する研究(第3報)

微小平面に対する光学的角度測定顕微鏡装置の開発

抄録

マイクロビッカース硬さ試験に用いられるダイヤモンド圧子の検証は、試験時の押込み深さを考慮すると圧子先端近傍の数十μm 程度の微小領域における幾何形状を測定することが必要であるが、現状ではこのような小さな平面の角度を高い精度で測定する方法がない。本研究では、顕微鏡光学系にレーザ光をプローブとした角度検出機構を組み合わせた測定装置を開発し評価した結果について報告する。