超精密マザーマシンの開発(第3報) アクティブマウントの試作

加藤 崇道; 山口 祥之; 堀内 宰; 柴田 隆行

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.151.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: C10

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.151.0

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主催: 社団法人精密工学会

工作機械の高速高精度化(2)

超精密マザーマシンの開発(第3報)

アクティブマウントの試作

*加藤崇道, 山口祥之, 堀内宰, 柴田隆行

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キーワード: 工作機械, 超精密加工, 加工精度

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抄録

既報において,門型平面研削盤ベッドのたわみ変動を抑制することにより,超精密マザーマシンの実現の可能性を見いだした.本報ではベッドのたわみを能動的に補償する,アクチュエータ機能を持ったマウントを考案,試作し,その性能を検討した.モデルを構築して実験を行い,サブμmオーダの制御が可能であるという結果を得た.

責任著者(Corresponding author)

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