抄録
レーザ光で誘導する方式の深穴形状評価プローブを開発する。プローブ先端の測定ユニットには、ペンタプリズム、穴壁に直角に動くスタイラスを取り付ける。スタイラスにはコーナーキューブプリズムが固定されている。深穴前方に測長器を置き、レーザ光を測定ユニットに向け照射する.レーザ光はペンタプリズムで90度屈折し、コーナーキューブプリズムで反射し測長器へかえる。測定ユニットを螺旋状に回転させることで穴形状を評価する。この測定ユニットはレーザ誘導方式深穴加工工具のカウンターボーリングヘッドヘッドと交換して使用することができる。深穴の真円度、真直度の測定結果は、市販の測定器と同程度の精度が得られた。
