抄録
現在の超精密加工装置の技術は、情報機器·ディスプレイデバイス、イメージング機器等の急速な進歩に対応すべく進歩を遂げつつある.主な変化は、超精密加工装置の高精度化、複雑形状への対応のための多自由度化、微細溝形状等加工の実現のための高速化であり、多くの事例でリニアモーターなどを含む新しい機構要素の採用が進みつつある.また、これらの結果として従来は製造が困難であった複雑な形状を持つ光学素子(非軸対称光学素子、CGH,分波素子)の製造が可能となりつつあり、光学設計にも相互作用を及ぼすものと期待される.