マイクロ·フレネルレンズ成形型の研削加工に関する研究(第2報) シャープエッジツルーイングによる高精度化

山本 雄士; 鈴木 浩文; 森脇 俊道; 樋口 俊郎; 山形 豊; 沖野 正; 土方 祥雄

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.221.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: C73

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.221.0

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主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状・機能性材料の超精密加工と計測(3)

マイクロ·フレネルレンズ成形型の研削加工に関する研究(第2報)

シャープエッジツルーイングによる高精度化

*山本雄士, 鈴木浩文, 森脇俊道, 樋口俊郎, 山形豊, 沖野正, 土方祥雄

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キーワード: フレネルレンズ, モリブデン, レジンボンド砥石, ツルーイング

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抄録

前報において,新しいマイクロフレネル形状の研削法を提案し,超硬などのセラミック型においても良好な形状精度が得られることを報告した.しかし,砥石先端を鋭利にツルーイングすることは難しく,従来法では砥石先端に丸みが生じてしまうためフレネルの段差部において十分な精度が得られなかった.そこで本報ではモリブデン製ツルアを用いて従来よりも鋭利にツルーイングできることを確認したので報告する.

責任著者(Corresponding author)

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