超純水の噴出による水の分解に関する研究

抄録

近年、半導体製造工程等のウエットプロセスでは、自然環境保護の観点から薬液に代えて様々な機能水が利用されている。機能水の生成方法にはいろいろあるが、我々は超純水を高速で噴射することにより、水を分解して活性化させるという方法を着想した。直径20μmの円孔が833個開いたノズルから噴射した超純水をESRにて測定したところ、1.0μmol/LのOHラジカルが検出された。