構造制御型固定砥粒研磨パッドの開発

光学ガラス研磨への適用

抄録

遊離砥粒加工を固定砥粒加工に置き換える試みが多方面で精力的に行われているが,低除去能率という問題が顕在化している.そこでこうした問題を解決するために,砥粒を放出/供給する部分とその砥粒をパッド上に保持する部分とを構造的に分けた固定砥粒研磨パッドを開発した.そして光学ガラスの仕上げ加工に適用した結果,スラリーを用いた通常の研磨加工に比べ,より高い除去能率で同等の加工面品位を達成できたので報告する.