両面研磨機による平行度修正について

抄録

両面研磨機はシリコンウエハや磁気ディスクなど基板状の工作物の加工に使われている。工作物4個配置の両面研磨機を用い,3個配置で平行度修正をする理論的扱いと修正加工実験の結果を述べる。