矩形ガラス材の高平坦化研磨(第5報) 新しい傾斜補正法によるガラス修正研磨

宇根 篤暢; 吉冨 健一郎; 餅田 正秋

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.507.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: G36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.507.0

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主催: 社団法人精密工学会

プラナリゼーションCMPとその応用(1)

矩形ガラス材の高平坦化研磨(第5報)

新しい傾斜補正法によるガラス修正研磨

*宇根篤暢, 吉冨健一郎, 餅田正秋

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キーワード: 矩形ガラス材, ディスプレイ, 研磨, 回転型研磨機, 高平坦化, シミュレーション

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抄録

テレビや液晶などのディスプレイに使用されるガラス材や,そのマスクには,大型基板化とともに高平坦化が要求されている.これらの材料はいずれも矩形状をしているため,従来の回転型研磨機では高平坦に研磨することがきわめて難しい.本報告では,このような矩形状の薄板を高平坦に研磨加工するために開発したシミュレーションプログラムに,工具傾斜を補正する新しい理論を導入し,実験結果と比較·検討したので報告する.

責任著者(Corresponding author)

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