精密工学会学術講演会講演論文集
2006年度精密工学会春季大会
セッションID: G77
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プラナリゼーションCMPとその応用(5)
天然物に学ぶ鏡面研削用砥石に関する研究
*齋藤 弘憲池野 順一澁谷 秀雄竹村 貴人
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抄録
前報では、合砥を解析しその構造を模した砥石を試作しその研削性能を評価した。その結果、シリコンの鏡面研削に使用可能であることが分かった。本報ではさらに成分の盛況など詳細に加工性能を評価した結果について報告する。さらに天然物で砥石として興味深い事例を紹介する。
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© 2006 公益社団法人 精密工学会
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