超微粒ダイヤモンドホイールによる超平坦、超平滑加工

抄録

CMPに代表される化学反応性スラリーによるポリッシュ加工はダメージレス加工の代表であるが、スラリーの人や地球環境への影響や加工速度、加工精度の課題がある。そこで超微粒ダイヤモンドを用いたグラインディングホイールで超平坦、超平滑加工に挑んだ。その結果、固定砥粒加工法はポリッシュ加工にどこまで近づけたかを報告する。