静電誘導給電を用いた微細放電加工の加工特性

抄録

　微細部品のニーズやMEMSの発展に伴い、マイクロ放電加工への要求が高まっている.しかし,従来型マイクロ放電加工機では浮遊容量などの影響で微細化限界が生じてしまう.そこで回路上の浮遊容量の影響を小さくし放電エネルギをより小さくできる方法として,静電誘導給電を用いた放電加工法が花田らにより開発された.本研究では,工具回転による加工屑排出の促進などにより,本加工法の加工特性の向上を図った.