超音波振動を援用する高能率研磨加工の研究

金型の平面部研磨

抄録

回転運動するバフ研磨装置へ縦振動する超音波振動子を組込み,超音波振動を援用した研磨装置を開発した.3軸直交ロボットへ研磨装置を実装した自動研磨システムで,金型の平面部の研磨実験を行なった.研磨パラメータの影響に関して報告する.