マイクロ光学レンズ成形用超精密成形型の開発 マイクロ放電加工によるガラス状炭素の微細加工

伊藤 寛明; 柴本 裕輔; 山浦 司; 杉本 公一; 松倉 利顕; 遠藤 千昭

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.747.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: J16

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.747.0

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主催: 社団法人精密工学会

ＭＥＭＳ商業化技術(3)

マイクロ光学レンズ成形用超精密成形型の開発

マイクロ放電加工によるガラス状炭素の微細加工

*伊藤寛明, 柴本裕輔, 山浦司, 杉本公一, 松倉利顕, 遠藤千昭

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キーワード: ガラス状炭素, マイクロ放電加工, 集束イオンビーム, モールドプレス

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抄録

高融点ガラスモールド用成形型材料であるガラス状炭素(GC)に対し,集束イオンビーム(FIB)加工により超微細形状を付与してきたが,加工領域が小さいという問題があった.そこで,FIB加工の前加工としてマイクロ放電加工が適用できるかを検討するため,まずGCに対し数mmのパターンを付与し,加工面精度に及ぼす放電加工条件を調査した.本講演では,FIBによる仕上げ加工を行った結果についても併せて報告する.

責任著者(Corresponding author)

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