エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第6報) ナノ光造形装置による三次元造形

梶原 優介; 武内 徹; 高橋 哲; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.773.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: J65

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.773.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

三次元造形(1)

エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第6報)

ナノ光造形装置による三次元造形

*梶原優介, 武内徹, 高橋哲, 高増潔

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キーワード: 三次元造形, エバネッセント光, 近接場光学, サブマイクロメートル

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抄録

本研究は,より複雑な三次元微小構造の創成を目的として,エバネッセント光を露光エネルギとして利用し,新しい微小構造創製法の確立を目指している.前報までにおいて,エバネッセント露光による樹脂硬化確認及び分解能の理論的,実験的検討を行い,ナノ光造形装置を試作した.本報ではエバネッセント光を利用したナノ光造形装置を利用し,100nmオーダの積層を行ったので報告する.

責任著者(Corresponding author)

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