濃淡液晶マイクロ光造形法による導光板用反射ドット形状の作製に関する研究(第2報)

露光光学系最適化の検討

抄録

本研究では,濃淡画像を出力した小型液晶ディスプレイ(LCD)をマスクとして用いる新たな面露光光造形法を提案する.この手法では,濃淡マスクを用いて,露光パターンに2次元の光強度分布を持たせることで,1度の露光による3次元形状の造形を可能にしている.そして,加工適用例として,導光板用反射ドット形状の作製を試みている.本報では,より高い造形性を目指し,露光光学系の改良を行った結果について報告する.