スムーズインパクト駆動機構(SIDM)の開発(第9報) SIDMを利用した位置決めステージへの応用

吉田 龍一; 干野 隆之; 藤井 秀一; 飯田 克彦; 古田 淳

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.879.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: K75

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.879.0

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主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め(3)

スムーズインパクト駆動機構(SIDM)の開発(第9報)

SIDMを利用した位置決めステージへの応用

*吉田龍一, 干野隆之, 藤井秀一, 飯田克彦, 古田淳

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キーワード: 圧電素子, 位置決め, 摩擦, 粗微動, ステージ

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抄録

コニカミノルタにおいて開発してきたSIDMは,デジタルカメラの手振れ補正用,携帯電話カメラのAF用のアクチュエータとして既に実用化されている.ただし,これらはSIDMの粗動(ノコギリ変位で動かす)のみを用いる応用であった.これに対し今回,SIDMの粗動,微動(圧電素子そのものの変位で動かす)を用いた位置決め用ステージをナノコントロールと共同で開発したので報告する.

責任著者(Corresponding author)

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