精密工学会学術講演会講演論文集
2006年度精密工学会春季大会
セッションID: K77
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精密・超精密位置決め(3)
30µmの動作範囲を有するナノモーションアクチュエータの設計と制御
*古谷 将人渋谷 嗣森 英季長縄 明大藤谷 智義大日方 五郎大内 一弘
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抄録
磁気記録評価装置において,ディスクの取り付け偏心などを吸収するため,トラッキング用アクチュエータには30μmの動作範囲が要求される.これまで,アクチュエータの共振周波数を下げて変位量を増加させる機構形状について検討してきたが,FEM解析により新たな形状を検討した結果,共振周波数を下げることなく変位量を増加させることができた.本報告では,この2つのアクチュエータの制御性能について検証する.
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© 2006 公益社団法人 精密工学会
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