工作機械の送りテーブルの円弧補間運動における実時間動特性計測とそれに基づく軌跡制御 リニアスケールによるテーブル端における制御効果の評価

海野 徹; 森本 喜隆; 市田 良夫; 佐藤 隆之介

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.891.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: K82

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.891.0

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主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め(4)

工作機械の送りテーブルの円弧補間運動における実時間動特性計測とそれに基づく軌跡制御

リニアスケールによるテーブル端における制御効果の評価

*海野徹, 森本喜隆, 市田良夫, 佐藤隆之介

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キーワード: 位置決め, NCテーブル, 逆伝達関数, 円弧補間運動

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抄録

実時間逆伝達関数制御法の効果をテーブル端に取り付けたリニアスケールにより評価した.またエンコーダ出力により同定した動特性パラメータと,リニアスケール出力によるテーブル端における動特性パラメータを比較検討した.さらに円弧補間運動における制御効果を確認するために,2軸テーブルにより位置決め制御実験を行ない,制御結果について検討した.

責任著者(Corresponding author)

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