精密工学会学術講演会講演論文集
2006年度精密工学会春季大会
セッションID: L07
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マイクロ/ナノシステム (旧マイクロメカニズム)(2)
小型自走機械群による超精密生産機械システム
第100報 これまでの成果の総括と今後について
*青山 尚之
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抄録
広範囲にわたる微細な加工や計測を実現させる方法として1990年から提案し、実施してきた超小型自走機械群による精密生産システムに関する研究の成果が100報になり、本報ではこの間に得られた成果や知見を総括するととに未解決の問題を整理するとともに、今後の展開について述べる。
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© 2006 公益社団法人 精密工学会
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