精密工学会学術講演会講演論文集
2006年度精密工学会春季大会
セッションID: L16
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マイクロ/ナノシステム (旧マイクロメカニズム)(3)
液体内封膜を用いた進行波型マイクロフィーダの挙動
*小泉 邦雄小林 正利
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抄録
 角断面金属棒を等間隔に接着した薄膜で密封した水槽を搬送面とする。面両端に固有振動数の合ったバイモルフ型片持ちピエゾアクチュエータを配置し、その先端で搬送下流側を駆動して波を送出する。進行波が他端に到達する時間だけ位相をずらせて他端を駆動すると反射波が抑えられ、搬送されるが、本報では、搬送面上に水を張った場合も含めて、フィルム状物体とゲル状物体の搬送を試みた。
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© 2006 公益社団法人 精密工学会
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