ビルトインセンサによる静電マイクロアクチュエータの変位制御

林 健彦; 福重 孝志; 秦 誠一; 下河邊 明

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.925.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: L24

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.925.0

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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ／ナノシステム (旧マイクロメカニズム)(4)

ビルトインセンサによる静電マイクロアクチュエータの変位制御

*林健彦, 福重孝志, 秦誠一, 下河邊明

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キーワード: マイクロアクチュエータ, 静電力, ビルトインセンサ, 静電容量, クローズドループ制御

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抄録

先細り形状の基板電極を採用した,カールドアップ型静電マイクロアクチュエータはオープンループでフルストロークのアナログ的変位が可能であるが,外乱の影響が大きい.そこで本研究では,ビルトインセンサによる変位計測を行い,クローズドループ制御を適用することで,外乱の影響を抑制し,変位を制御する.基板上に設けたセンシング用電極と,可動電極間の静電容量を計測することによって,変位情報を取得する.

責任著者(Corresponding author)

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